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Linee guida e precauzioni per l'utilizzo di bersagli di polverizzazione del metallo

Linee guida e precauzioni per l'utilizzo di bersagli di sputtering metallici

Primo, preparazione sputtering

È molto importante mantenere pulita la camera del vuoto, in particolare il sistema di sputtering. Qualsiasi residuo formato da olio lubrificante, polvere e pre-rivestimento raccoglierà vapore acqueo e altri contaminanti, influendo direttamente sul grado di vuoto per ottenere e aumentare la possibilità di rottura del film. Obiettivi di Sputtering di metallo Cortocircuito o arco di inizio del bersaglio, ruvidità della superficie del film e impurità chimiche vengono spesso superati a causa di polveri inquinanti, polveri e polverizzazione causate. Al fine di mantenere la composizione delle caratteristiche del rivestimento, il gas sputtering (argon o ossigeno) deve essere pulito e asciutto, camera sputtering nel substrato dopo la necessità di estrarre l'aria per ottenere il processo di vuoto richiesto. Anche gli schermi scuri, le intercapedini e le superfici adiacenti devono essere mantenuti puliti. Nella pulizia della camera del vuoto, raccomandiamo l'uso del metodo di granigliatura con pallina di vetro per trattare contemporaneamente le parti dello sporco con aria compressa per rimuovere la cavità attorno al residuo pre-sputtering, e quindi la carta vetrata impregnata di allumina delicatamente sulla superficie della lucidatura. Dopo aver lucidato la garza, quindi risciacquare con alcool, Metal Sputtering Targets acetone e acqua deionizzata, e raccomandare l'uso di aspirapolvere industriale per la pulizia ausiliaria.

ATTENZIONE: quando si utilizza il bersaglio, mantenere guanti protettivi puliti e non protetti ed evitare il contatto diretto con il bersaglio

Secondo, l'obiettivo è pulito

Lo scopo della pulizia target è rimuovere polvere o sporco che potrebbero essere presenti sulla superficie del bersaglio.

I bersagli di metallo possono essere puliti di quattro passi,

Il primo passaggio nell'acetone imbevuto del panno morbido privo di lanugine pulito;

Il secondo passo è simile al primo passo con l'alcol;

Il terzo passo è lavare con acqua deionizzata. Dopo il lavaggio con acqua deionizzata, l'obiettivo è stato quindi posto in un forno ed essiccato a 100 ° C per 30 minuti.

Pulizia dell'ossido e pulizia del target ceramico con un "panno privo di lanugine".

Passaggio 4 Dopo aver rimosso l'area sporca, Metal Sputtering Targets sciacqua il bersaglio con argon ad alta pressione e bassa umidità per rimuovere tutte le impurità che potrebbero causare archi nel sistema di sputtering

In terzo luogo, l'installazione di destinazione

La cosa più importante da notare durante l'installazione del target è assicurarsi che venga stabilita una buona connessione termica tra il target e la parete di raffreddamento della pistola di polverizzazione. Se la rigidità della parete di raffreddamento è grave o la flessione della piastra posteriore è grave, si verificano fessurazioni o piegature quando il bersaglio è montato e la conduttività termica del bersaglio posteriore verso il bersaglio sarà fortemente influenzata, con conseguenti target di polverizzazione del metallo calore nel processo di sputtering La distribuzione alla fine si tradurrà in cracking o fuori bersaglio

Per assicurare una sufficiente conduttività termica, uno strato di grafite può essere inserito tra la parete di raffreddamento del catodo e il bersaglio. Assicurarsi di controllare attentamente e chiarire la planarità della parete di raffreddamento della pistola di polverizzazione utilizzata, assicurandosi che l'O-ring sia sempre in posizione.

A causa del grado di pulizia dell'acqua di raffreddamento utilizzata e della possibile contaminazione dell'apparecchiatura durante il funzionamento dell'apparecchiatura, è necessario ispezionare e pulire il serbatoio dell'acqua di raffreddamento del catodo quando si installa l'obiettivo in modo da garantire il flusso regolare del l'acqua di raffreddamento e l'ingresso e l'uscita non saranno bloccati.

Parte del disegno del catodo è più piccolo con il gap anodico, Metal Sputtering Targets quindi l'installazione del target necessario per garantire che il catodo e l'anodo non siano in contatto con il conduttore non può esistere, altrimenti produrrà un cortocircuito.

Fare riferimento alle istruzioni del produttore dell'apparecchiatura per informazioni su come installare correttamente il target. Se non si dispone di queste informazioni nel manuale dell'utente, si prega di provare a seguire le raccomandazioni fornite. Quando si serra il dispositivo di mira, prima stringere a mano un bullone e poi stringere a mano un altro bullone sulla diagonale, Puntali di polverizzazione del metallo, quindi ripetere fino a dopo aver installato tutti i bulloni, quindi serrare lo strumento.